手動探針臺簡介

1.什么是探針臺

探針臺是一種輔助執(zhí)行機構(gòu)，測試人員把需要量測的器件放到探針臺載物臺（chuck）上，在顯微鏡配合下，X-Y移動器件，找到需要探測的位置。接下來測試人員通過旋轉(zhuǎn)探針座上的X-Y-Z的三向旋鈕，控制前部探針（射頻或直流探針），精準(zhǔn)扎到被測點，從而使其訊號線與外部測試機導(dǎo)通，通過測試機測試人員可以得到所需要的電性能參數(shù)。

2探針臺應(yīng)用

手動探針臺廣泛應(yīng)用于，科研單位研發(fā)測試、院校教學(xué)操作、企業(yè)實驗室芯片失效分析等領(lǐng)域。一般使用于研發(fā)測試階段 ，批量不是很大的情況，大批量的重復(fù)測試推薦使用探卡。

主要功能：搭配外接測試測半導(dǎo)體參數(shù)測試儀、示波器、網(wǎng)分等測試源表，量測半導(dǎo)體器件IV CV脈沖/動態(tài)IV等參數(shù)。

用途：以往如果需要測試電子元器件或系統(tǒng)的基本電性能（如電流、電壓、阻抗等）或工作狀態(tài)，測試人員一般會采用表筆去點測。隨著電子技術(shù)的不斷發(fā)展，對于精密微?。{米級）的微電子器件（如IC、wafer、Chip、LCD Array、CMOS Camera Module、Pitch微小的Connector），表筆點到被測位置就顯得無能為力了。于是一種高精度探針座應(yīng)運而生,利用高精度微探針將被測原件的內(nèi)部訊號引導(dǎo)出來，便于其電性測試設(shè)備（不屬于本機器）對此測試、分析。

探針臺執(zhí)行機構(gòu)由探針座和探針桿兩部分組成.在探針座有X-Y-Z三向調(diào)節(jié)旋鈕，控制固定在針座上的探針桿做三向移動，移動范圍12mm，移動精度可以達(dá)到0.7微米。這樣可以把探針很好的點到待測點上（說明探針是耗材，一般客戶自己準(zhǔn)備），探針探測到的信號可以通過探針桿上的電纜傳輸?shù)脚c其連接的測試機上，從而得到電性能的參數(shù)。對于重復(fù)測試同種器件，多個點位的推薦使用探針臺安裝探卡進(jìn)行測試。

3、工作環(huán)境

探針臺應(yīng)放在堅固穩(wěn)定的臺面上，如地基有震動的情況，需要配置主動防震裝置，避免在高溫、潮濕、激烈震動、陽光直接照射和灰塵較多的環(huán)境下使用。使用最佳溫度范圍為5℃～40℃，最佳濕度是40%到85%，空氣中之濕度若低于30%以下，可靠濕度控制器予以控制，使維持50%～60%之范圍。使用時門窗盡可能關(guān)閉，使室內(nèi)達(dá)到除濕效果。

使用電源：220V，50Hz

探針臺分類

探針臺從操作上來區(qū)分有：手動，半自動，全自動

從功能上來區(qū)分有：溫控探針臺，真空探針臺（超低溫探針臺），RF探針臺，LCD平板探針臺，霍爾效應(yīng)探針臺，表面電阻率探針臺

經(jīng)濟手動型

根據(jù)客戶需求定制

chuck尺寸：4"*4" 6"*6" 8"*8" 12"*12" (可選）

X-Y移動行程：4"*4" 6"*6" 8"*8" 12"*12"(可選）

chuck Z軸方向升降10mm（選項）方便探針與樣品快速分離

顯微鏡：金相顯微鏡、體式顯微鏡、單筒顯微鏡（可選）

顯微鏡移動方式：立柱環(huán)繞型、移動平臺型、龍門結(jié)構(gòu)型（可選）

探針座：有0.7um、2um、10um精度可選，磁性吸附帶磁力開關(guān)

可搭配Probe card測試

適用領(lǐng)域：晶圓廠、研究所、高校等

半自動型

chuck尺寸800mm/600mm

X,Y電動移動行程200mm/150mm

chuck粗調(diào)升降9mm，微調(diào)升降16mm

可搭配MITUTOYO金相顯微鏡或者AEC實體顯微鏡

針座擺放個數(shù)6～8顆

顯微鏡X-Y-Z移動范圍2"x2"x2"

可搭配Probe card測試

適用領(lǐng)域：8寸/6寸Wafer、IC測試之產(chǎn)品

電動型

chuck尺寸1200mm，平坦度土1u（不銹鋼或鍍金）

X,Y電動移動行程300mm x 300mm

chuck粗調(diào)升降9mm，微調(diào)升降16mm，微調(diào)精度土1u

可搭配MITUTOYO晶像顯微鏡或者AEC實體顯微鏡

針座擺放個數(shù)8～12顆

顯微鏡X-Y-Z移動范圍2“x2”x2“

材質(zhì)：花崗巖臺面 不銹鋼

可搭配Probe card測試

適用領(lǐng)域：12寸Wafer、IC測試之產(chǎn)品

LCD半自動探針臺

機械手臂取放片

電動、鍵入坐標(biāo)尋位置

量測尺寸（mm）：1800x1600、1300x1200、1200x1000

LCD手動探針臺

白熾燈或者LED整面背光

TFT元件特性、Driver IC量測分析

機臺尺寸（mm）：800x600、500x400、300x300

PCB量測探針臺（TDR）

高頻測試探頭GSG / GS / SG

頻率10GHZ / 40GHZ / 50GHZ / 67GHZ

機臺尺寸同LCD 探針臺

太陽能產(chǎn)業(yè)探針臺（Solar Cell 量測系統(tǒng)）

量測軟體:

I-V /C-V Curve, Isc, Voc,

Pmax, Imax, Vmax, RS, Fill Factor,

Power Convert Efficiency

采用KEITHLEY Source Meter

可加配任意品牌之太陽光模擬器