四氟硅烷用途

有機硅化合物的合成材料，水泥和人造大理石的硬化劑，氟硅酸及氟化硅的制造，硅的外延生長，等離子蝕刻，太陽能電池，復印機感光筒，非晶硅膜生成，化學氣相淀積。

別名 ： 氟化硅

英文名：Silicon Tetrafluoride、TetrafIuorosiIane、Silicon fluoride．

(1)加工含有氟化物的天然磷酸鹽(在濃硫酸對CaF2和氟磷灰石作用時)的副產(chǎn)品。

(2)在赤熱溫度下分解氟硅酸鋇。

(3)用HF作用于SiO2.

(4)在常溫下F對Si的作用。

(5)將硅砂與氟石混合，加入過量的濃硫酸中，并加熱。

(6)氟置換四氯化硅，SiCl4+2F2→SiF4+2Cl。

分子量： 104.08

熔點： -95.7℃

沸點(241kPa)： -90.2℃

升化點： -94.8

液體密度(-80℃)j 1590kg/m

氣體密度(20℃，101.325kPa)： 4.370kg/m

相對密度(氣體，空氣=1，20℃，101.325kPa)：3.63

比容(21.1℃;101.325kPa)：0.231m/kg

臨界溫度： -14.2℃

臨界壓力： 3715kPa

熔化熱(177.45K)： 91.37kJ/kg

氣化熱(182.9K，176kPa)： 179.29kJ/kg

升化熱(178.35K)： 246.43kJ/kg

比熱容(20℃，101.325kPa)： 711.76J/(kg·K)

蒸氣壓(-113.3℃)： 13.332kPa

(-52.6℃)： 1013.25kPa

(-33.4℃)： 2026.5kPa

四氟化硅在常溫常壓下為具有窒息性刺激臭的無色氣體，空氣中不燃燒。在600℃時與SiCl4反應生成SiClF、SiCl2F及SiCl3F。在濕空氣中能形成白色煙霧，水解后生成HF和氟硅酸。

3SiF4+(n+2)H2O→2H2SiF6+SiO2·nH2O

2SiF4+(n+2)H2O→2HF+H2SiF6+SiO2·nH2O

在常溫干燥狀態(tài)下，它與堿、堿土類金屬反應生成硅、硅氟化堿等，又與堿及堿土類元素的氧化物或氫氧物反應。與堿金屬的氟化物反應生成氟硅酸鹽。

SiF4+2NaF→Na2SiF6

與酒精反應生成烷基正硅酸鹽。與格利雅試劑反應。

SiF4+3RMgX→R3SiF+3MgFX

(R：烷基或丙烯基)

干燥的四氟化硅氣體無腐蝕性，但有水分時有腐蝕性。能溶于無水酒精、硝酸、氟化氫、乙醚、苯和氯仿中。

工作場所要通風，保持空氣新鮮干燥。潮濕時四氟化硅能迅速水解而具有腐蝕性。對干燥的四氟化硅可使用大多數(shù)通用金屬材料，對潮濕的氣體可以用蒙乃爾、鉻鎳合金、鋅、金、鉑等，但是鋁、鋁合金、鉭、鈦等不耐腐蝕。設備管道可用氨水檢漏。

廢氣可用水吸收，用苛性鉀等堿性水溶液中和。