微波等離子體CVD系統(tǒng)

微波等離子體CVD系統(tǒng)是一種用于化學(xué)、材料科學(xué)、冶金工程技術(shù)、物理學(xué)領(lǐng)域的工藝試驗(yàn)儀器，于2001年6月14日啟用。

微波等離子體CVD系統(tǒng)基本信息

中文名 微波等離子體CVD系統(tǒng) 產(chǎn)????地 中國(guó)
學(xué)科領(lǐng)域 化學(xué)、材料科學(xué)、冶金工程技術(shù)、物理學(xué) 啟用日期 2001年6月14日
所屬類別 工藝試驗(yàn)儀器 > 加工工藝實(shí)驗(yàn)設(shè)備

1、金剛石等多種薄膜的化學(xué)汽相沉積的研究；2、基片的刻蝕和灰化；3、作為高密度、寬束離子源；4、低溫氧化物的生長(zhǎng)；5、等離子體表面處理和其它實(shí)驗(yàn)加工。

微波等離子體CVD系統(tǒng)造價(jià)信息

市場(chǎng)價(jià) 信息價(jià) 詢價(jià)
材料名稱 規(guī)格/型號(hào) 市場(chǎng)價(jià)
（除稅）		 工程建議價(jià)
（除稅）		 行情 品牌 單位 稅率 供應(yīng)商 報(bào)價(jià)日期
等離子體靜電空氣凈化裝置 VBK-Z-7500 980×945×210 查看價(jià)格 查看價(jià)格

偉一(V1)

 臺(tái) 13% 東莞市偉一環(huán)境科技有限公司
等離子體靜電空氣凈化裝置 VBK-Z-10500 980×1392×210 查看價(jià)格 查看價(jià)格

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等離子體靜電空氣凈化裝置 VBK-Z-12000 980×1520×210 查看價(jià)格 查看價(jià)格

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 臺(tái) 13% 東莞市偉一環(huán)境科技有限公司
等離子體靜電空氣凈化裝置 VBK-Z-3000 490×760×210 查看價(jià)格 查看價(jià)格

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 臺(tái) 13% 東莞市偉一環(huán)境科技有限公司
等離子體靜電空氣凈化裝置 VBK-Z-4500 980×566×210 查看價(jià)格 查看價(jià)格

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 臺(tái) 13% 東莞市偉一環(huán)境科技有限公司
等離子體靜電空氣凈化裝置 VBK-Z-1500 490×380×210 查看價(jià)格 查看價(jià)格

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 臺(tái) 13% 東莞市偉一環(huán)境科技有限公司
等離子體靜電空氣凈化裝置 VBK-Z-6000 980×760×210 查看價(jià)格 查看價(jià)格

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 臺(tái) 13% 東莞市偉一環(huán)境科技有限公司
等離子體靜電空氣凈化裝置 VBK-Z-9000 980×1140×210 查看價(jià)格 查看價(jià)格

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 臺(tái) 13% 東莞市偉一環(huán)境科技有限公司
材料名稱 規(guī)格/型號(hào) 除稅
信息價(jià)		 含稅
信息價(jià)		 行情 品牌 單位 稅率 地區(qū)/時(shí)間
一體化應(yīng)急系統(tǒng) JG-YYZ36E40W 查看價(jià)格 查看價(jià)格

套 陽(yáng)江市2005年3月信息價(jià)
一體化應(yīng)急系統(tǒng) JG-YYZ30E30W 查看價(jià)格 查看價(jià)格

套 陽(yáng)江市2005年2月信息價(jià)
一體化應(yīng)急系統(tǒng) JG-YYZ36E40W 查看價(jià)格 查看價(jià)格

套 陽(yáng)江市2004年12月信息價(jià)
一體化應(yīng)急系統(tǒng) JG-YYZ18E20W 查看價(jià)格 查看價(jià)格

套 陽(yáng)江市2004年12月信息價(jià)
一體化應(yīng)急系統(tǒng) JG-YYZ18E20W 查看價(jià)格 查看價(jià)格

套 陽(yáng)江市2004年11月信息價(jià)
一體化應(yīng)急系統(tǒng) JG-YYZ18E20W 查看價(jià)格 查看價(jià)格

套 陽(yáng)江市2004年9月信息價(jià)
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套 陽(yáng)江市2004年8月信息價(jià)
一體化應(yīng)急系統(tǒng) JG-YYZ18E20W 查看價(jià)格 查看價(jià)格

套 陽(yáng)江市2004年8月信息價(jià)
材料名稱 規(guī)格/需求量 報(bào)價(jià)數(shù) 最新報(bào)價(jià)
（元）		 供應(yīng)商 報(bào)價(jià)地區(qū) 最新報(bào)價(jià)時(shí)間
等離子體凈化裝置 1.型號(hào):VBK-HD-13B2.規(guī)格:風(fēng)量=1360/h|3臺(tái) 3 查看價(jià)格 北京賽多科貿(mào)有限公司 廣西  賀州市 2021-09-29
等離子體凈化裝置 1.型號(hào):VBK-HD-13B2.規(guī)格:風(fēng)量=1360/h|3臺(tái) 3 查看價(jià)格 北京賽多科貿(mào)有限公司 廣西  賀州市 2021-10-15
電感耦合等離子體質(zhì)譜儀 參數(shù)配置詳見附件|1臺(tái) 1 查看價(jià)格 青島聚創(chuàng)環(huán)保集團(tuán)有限公司 全國(guó)   2020-09-21
等離子體空氣凈化消毒機(jī) 等離子體空氣凈化消毒機(jī)1.型式:等離子體空氣凈化消毒機(jī)2.規(guī)格:體積≤60m3|20只 1 查看價(jià)格 廣東岑安機(jī)電有限公司 廣西   2022-07-04
光氫等離子體空氣凈化消毒機(jī) (1)名稱:光氫等離子體空氣凈化消毒機(jī)UVP-20-50(2)規(guī)格:風(fēng)量:8000-14000m3/h功率:20W/220V|5臺(tái) 1 查看價(jià)格 廣東惠恩建筑科技有限公司 全國(guó)   2021-05-08
光等離子除臭系統(tǒng) 1、處理氣量:11000m3/h 臭氧泄漏量0.05mg/m3,2、含(1套設(shè)備殼體1.7m×1.2m×1.2m,δ=1.5mm、50根離子燈λ=185-256nm,BOSO810T5VHU/4PF、50個(gè)鎮(zhèn)流器SX05-800-2/75U 150W、|1套 1 查看價(jià)格 佛山市綠娃娃環(huán)保設(shè)備有限公司 全國(guó)   2020-05-22
光等離子除臭系統(tǒng) 1、處理氣量:4000m3/h 臭氧泄漏量0.05mg/m3 ,2、含(1套設(shè)備殼體1.2m×1.1.m×1.1m,δ=1.5mmm、20根離子燈λ=185-256nm,BOSO810T5VHU/4PF、20個(gè)鎮(zhèn)流器SX05-800-2/75U 150W、|11套 1 查看價(jià)格 佛山市綠娃娃環(huán)保設(shè)備有限公司 全國(guó)   2020-05-24
光等離子除臭系統(tǒng) 1、處理氣量:1200m3/h 臭氧泄漏量0.05mg/m3 ,2、含(1套設(shè)備殼體1.2m×1.1.m×1.1m,δ=1.5mm、20根離子燈λ=185-256nm,BOSO810T5VHU/4PF、20個(gè)鎮(zhèn)流器SX05-800-2/75U 150W、|11套 1 查看價(jià)格 佛山市綠娃娃環(huán)保設(shè)備有限公司 全國(guó)   2020-05-22

1、微波工作頻率：2450±50MHZ，微波輸出功率：0.5-5KW連續(xù)可調(diào)；功率穩(wěn)定度：優(yōu)于±1%；2、輸出波導(dǎo)接口：BJ-26帶FD-26標(biāo)準(zhǔn)法蘭；3、微波反應(yīng)腔尺寸和工作模式：ф124×200(H)，下注TM013模式；4、微波放電腔：多端口,帶雙層水冷；5、真空系統(tǒng)：600L/min分子泵和旁路機(jī)組中氣壓真空測(cè)控；6、樣品支架系統(tǒng)：基板直徑ф100mm；7、軸向調(diào)節(jié)距離：0-150mm。

微波等離子體CVD系統(tǒng)常見問題

  • 什么是等離子體膜

    等離子體聚合物在結(jié)構(gòu)上與普通的聚合物顯著不同，它能形成含有活性基團(tuán)的高度交聯(lián)的網(wǎng)絡(luò)結(jié)構(gòu)，從而具有良好的均勻性及對(duì)基質(zhì)的附著性［1，2］．有關(guān)采用等離子體聚合膜的TSM傳感器的報(bào)道不多［3，4］，本室已...

  • 問下如何產(chǎn)生等離子體

    等離子體又叫做“電漿”，是由部分電子被剝奪后的原子及原子被電離后產(chǎn)生的正負(fù)電子組成的離子化氣體狀物質(zhì) 在人工生成等離子體的方法中，氣體放電法比加熱的辦法更加簡(jiǎn)便高效，如熒光燈、霓虹燈、電弧焊、電暈放電...

  • 低溫等離子體和熱等離子體有什么區(qū)別 ？

    低溫等離子體：適合的應(yīng)用材料的表面清洗活化焊接，油漆，打印，密封，起泡，涂覆及硅化前表面活化處理。氣體裂解和高效滅菌加速化學(xué)反應(yīng)產(chǎn)品特點(diǎn)：突破低氣壓限制，可在大氣壓下引發(fā)等離子體；可對(duì)材料連續(xù)在線處理...

微波等離子體CVD系統(tǒng)文獻(xiàn)

等離子體電子工程(22)-電暈放電與高壓低溫等離子體 等離子體電子工程(22)-電暈放電與高壓低溫等離子體

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等離子體電子工程(22)-電暈放電與高壓低溫等離子體

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高分子等離子體涂料 高分子等離子體涂料

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評(píng)分： 4.5

本發(fā)明和一種在天然和／或合成有機(jī)材料表面用做防火和／或耐火層的等離子高分子涂料有關(guān)。把表面暴露在一種蒸氣的等離子中得到這種涂料，特別地，單體含有鹵素和／或磷和／或氮和／或硅，比如含氟組分，含磷組分，含硅組分，含氮組分。這種涂層可被應(yīng)用于在公共場(chǎng)合如飛機(jī)，電影院，汽車，火車，餐館等使用的窗戶，織物，地毯等。通過把表面暴露在等離子體中得到涂層。暴露時(shí)間從30秒到5小時(shí)，壓力從10到1200mtorr。

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電容耦合微波等離子體(焰炬)capaciti}cly coupled trii- }rnwa}e plasma 波為輻射頻率， ( torch ) E-大于〕1f1MI-}z(一般為24}n:'v1H} )微 功率在數(shù)百瓦到數(shù)千瓦的一種電容藕合等離 子體光源。由磁控管產(chǎn)生微波，通過同軸波導(dǎo)管傳輸?shù)揭桓?同軸電極上，在電極尖端生成等離子體(焰炬)。它可在大氣 壓下放電點(diǎn)燃二試樣霧化后隨載氣進(jìn)人等離子體激發(fā)發(fā)光。

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采用HT-CVD 技術(shù)生產(chǎn)的硬質(zhì)涂層材料主要有:TiC、TiN、TiCN、Cr7C3、TiBN、Al2O3 等單涂層和它們的復(fù)合涂層材料。高溫化學(xué)氣相沉積工藝過程包括工件沉積前處理(工件清洗、強(qiáng)化處理等)、裝爐、檢漏、加熱升溫、沉積、冷卻、檢查和包裝等。

在整個(gè)沉積工藝過程中，要嚴(yán)格控制各加熱溫度和各種氣體流量。特別對(duì)CH4，TiCl4等反應(yīng)氣體通人時(shí)間和流量，更需按工藝要求控制到位，否則對(duì)涂層質(zhì)量會(huì)有很大影響。

沉積工藝舉例如下

TiC 涂層

沉積溫度:1000~1050℃

沉積室壓力: (1~2)×104Pa

沉積時(shí)間:60~ 180min

各反應(yīng)氣體流量: 主H2 7000~ 12000SCCM；CH4 4000-~8000SCCM (SCCM 即cm3/min)；TiCl: 加熱溫度45~65℃；載氣H2 4000~6000SCCM

TiN 涂層

沉積溫度: 950~1000℃

沉積室壓力: (1~2)X104Pa

沉積時(shí)間:60~ 180min

各反應(yīng)氣體流量:主H2 8000~13000SCCM；N2 6000~ 10000SCCM；TiCl ;加熱溫度45~65℃；載氣H2 5000 9000SCCM2100433B

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地面微波通信系統(tǒng)由視野范圍內(nèi)的兩個(gè)互相對(duì)準(zhǔn)方向的拋物面天線組成，能夠?qū)崿F(xiàn)視野范圍內(nèi)的微波通信。

地面微波通信系統(tǒng)主要作為計(jì)算機(jī)網(wǎng)絡(luò)的中繼鏈路，實(shí)現(xiàn)兩個(gè)或多個(gè)局域網(wǎng)的互連，擴(kuò)大網(wǎng)絡(luò)的覆蓋范圍。例如，兩個(gè)相距較遠(yuǎn)大樓中的局域網(wǎng)可以采用地面微波通信系統(tǒng)互相連通，實(shí)現(xiàn)數(shù)據(jù)通信。在某些情況下，這種遠(yuǎn)程連接方式可能比有線遠(yuǎn)程連接的費(fèi)用要低廉一些。

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