自動(dòng)靈敏度控制相關(guān)研究

我國(guó)大部分地區(qū)電網(wǎng)仍然采用較傳統(tǒng)的分散調(diào)整的方式實(shí)施電壓無功控制，這種控制方式不能從全網(wǎng)的角度對(duì)系統(tǒng)內(nèi)所有廠站綜合考慮和協(xié)調(diào)控制，只能實(shí)現(xiàn)局部?jī)?yōu)化，難以達(dá)到全網(wǎng)最優(yōu)地改善各節(jié)點(diǎn)電壓和減少線損的目的。以湖南電網(wǎng)自動(dòng)電壓控制(AVC)研究為背景，以實(shí)現(xiàn)全網(wǎng)電壓無功優(yōu)化運(yùn)行控制為目的展開了深入的研究 。

無功電壓優(yōu)化控制的重要意義，電力系統(tǒng)電壓無功控制問題的發(fā)展現(xiàn)狀及基本數(shù)學(xué)模型，對(duì)現(xiàn)有的應(yīng)用于電力系統(tǒng)電壓無功控制的各種優(yōu)化算法進(jìn)行了綜述，并分析了各種優(yōu)化算法及數(shù)學(xué)模型的結(jié)構(gòu)特點(diǎn)和適用范圍。結(jié)合自動(dòng)電壓控制方法在實(shí)際系統(tǒng)中的成功應(yīng)用經(jīng)驗(yàn)，考慮實(shí)時(shí)分析的速度與精度要求，一種基于線性靈敏度分析的自動(dòng)電壓控制方法。

該方法的特點(diǎn)為：針對(duì)電網(wǎng)規(guī)模擴(kuò)大帶來的節(jié)點(diǎn)電壓約束增多的難題，提出了區(qū)域電壓合格主導(dǎo)約束節(jié)點(diǎn)的概念，優(yōu)化模型中只對(duì)高電壓主導(dǎo)節(jié)點(diǎn)與低電壓主導(dǎo)節(jié)點(diǎn)電壓進(jìn)行約束，有效降低了電壓約束維數(shù)，顯著提高了線性規(guī)劃的求解速度；針對(duì)變壓器變比控制數(shù)過多，影響計(jì)算速度的問題，提出了在線性規(guī)劃模型中不考慮降壓變壓器變比控制的方法；針對(duì)傳統(tǒng)靈敏度算法中無法獲得與平衡機(jī)相關(guān)控制變量靈敏度的問題，提出了對(duì)包括平衡機(jī)在內(nèi)的所有發(fā)電機(jī)的靈敏度算法，當(dāng)平衡機(jī)加入電壓無功控制后，無需投入任何附加設(shè)備，即可有效降低系統(tǒng)網(wǎng)損，且不影響計(jì)算速度和精度 。

以基于線性靈敏度分析的自動(dòng)電壓控制方法為基礎(chǔ)，采用C 和java語(yǔ)言開發(fā)了基于Web模式的AVC系統(tǒng)軟件。論文介紹了該軟件的開發(fā)流程、各個(gè)模塊的功能以及用戶操作界面，采用IEEE-10、IEEE-14和IEEE-30系統(tǒng)和湖南電網(wǎng)的實(shí)際EMS數(shù)據(jù)，使用該軟件對(duì)湖南電網(wǎng)電壓無功控制進(jìn)行算例分析，應(yīng)用結(jié)果表明，該方法不僅能夠有效降低系統(tǒng)網(wǎng)損，而且還能大大提高系統(tǒng)的電壓合格率，驗(yàn)證了本文所提方法的正確性和快速性。2100433B

傳統(tǒng)上，已開發(fā)出了的人工檢測(cè)儀器總是會(huì)受到各個(gè)地方人為因素的困擾。在一個(gè)人工檢查的環(huán)路中，檢測(cè)可能有相互矛盾的地方，在不同的操作員之間的檢測(cè)結(jié)果可能會(huì)有顯著的差異。這里就存在一個(gè)挑戰(zhàn)。這個(gè)挑戰(zhàn)在于：人的肉眼很難檢測(cè)到小于110nm的缺陷；圖像數(shù)據(jù)又不能貯存；輸出產(chǎn)量/成本方面的考慮僅能采取隨機(jī)抽樣來檢測(cè)，這些都會(huì)使問題復(fù)雜化，也會(huì)耽擱給產(chǎn)品制造人員重要的信息反饋。

日本NikonInstech公司已經(jīng)開發(fā)了一種自動(dòng)的宏檢測(cè)系統(tǒng)-AMI-3000，解決了現(xiàn)有系統(tǒng)所面臨的幾個(gè)問題。其中之一是能見度不足的問題。通常，視覺宏檢測(cè)系統(tǒng)使用的是衍射光而不是反射光，這就使得它們經(jīng)常出現(xiàn)色度和亮度不均勻之類的缺陷問題。但當(dāng)圖形間距為0.1um或更小時(shí)，圖形不能給操作員提供足夠的衍射光。當(dāng)引入薄膜涂層后，其它因素就會(huì)開始起作用。感光膠圖形的微小的變化以前并不影響實(shí)際的圖形，但它卻常常顯示成是一個(gè)缺陷。新平臺(tái)所解決的另一個(gè)問題是它能指出管理流程圖中的某些限制，這種管理流程圖受圖形最小化和高集成度的影響。

一般來說，傳統(tǒng)的薄膜厚度和CD測(cè)量工具要求根據(jù)經(jīng)驗(yàn)規(guī)則上進(jìn)行抽樣和單點(diǎn)檢測(cè)。然而，它們不能檢測(cè)程序檢測(cè)區(qū)域之外要檢測(cè)的缺陷。而且，傳統(tǒng)的自動(dòng)顯微鏡缺陷檢測(cè)系統(tǒng)是根據(jù)單位成本和輸出產(chǎn)量所制定的抽樣檢測(cè)計(jì)劃來進(jìn)行檢測(cè)的。所以，未被抽樣的晶片上的缺陷就發(fā)現(xiàn)不了了。

Nikon系統(tǒng)是根據(jù)以下三個(gè)概念開發(fā)出來的檢測(cè)系統(tǒng)：它應(yīng)該是一種的宏檢測(cè)系統(tǒng)；它應(yīng)該是一種的檢測(cè)系統(tǒng)，能對(duì)每一片晶片的整個(gè)表面進(jìn)行檢測(cè)；它應(yīng)該能根據(jù)相同參考標(biāo)準(zhǔn)進(jìn)行量化檢測(cè)并給出檢測(cè)結(jié)果的檢測(cè)系統(tǒng)。檢測(cè)靈敏度是使用來實(shí)現(xiàn)的。在散射光檢測(cè)方式下，能提供暗場(chǎng)檢測(cè)，有95%的缺陷捕捉率。在衍射光模式下有80%的缺陷捕捉率。

自動(dòng)速度控制，是指以速度（或轉(zhuǎn)速）作為被控制量的自動(dòng)控制。連續(xù)冷連軋機(jī)的自動(dòng)速度控制系統(tǒng)要求通過活套分離開卷運(yùn)行過程和軋制運(yùn)行過程以實(shí)現(xiàn)全連續(xù)軋制。由于停機(jī)時(shí)間的減少，生產(chǎn)效率大幅提升。

速度控制系統(tǒng)是五機(jī)架冷連軋計(jì)算機(jī)自動(dòng)控制系統(tǒng)的一個(gè)功能組成部分，包括二級(jí)速度設(shè)定系統(tǒng)、一級(jí)給定值處理系統(tǒng)和零級(jí)執(zhí)行機(jī)構(gòu)三個(gè)部分。

二級(jí)系統(tǒng)根據(jù)來料參數(shù)，選擇軋制規(guī)范，通過數(shù)學(xué)模型進(jìn)行設(shè)定計(jì)算，得到各架出口帶鋼線速度；考慮前后滑動(dòng)后，得到各機(jī)架工作輥線速度的設(shè)定值。設(shè)定值是本卷鋼軋制過程中此工作輥運(yùn)行速度的最高值。一級(jí)TDC 根據(jù)二級(jí)自動(dòng)速度控制信號(hào)、一級(jí)速度控制信號(hào)控制軋機(jī)區(qū)主令速度ZLs的大小，乘以設(shè)定值得到實(shí)時(shí)速度設(shè)定值，并考慮厚調(diào)、張力控制環(huán)節(jié)的速度調(diào)節(jié)量后，進(jìn)行參數(shù)轉(zhuǎn)化得到實(shí)時(shí)速度給定值，發(fā)送給6RA70，完成軋機(jī)區(qū)速度控制。6RA70接收速度給定值控制電機(jī)轉(zhuǎn)速，并將電機(jī)實(shí)際參數(shù)反饋給一級(jí)TDC，再發(fā)送到二級(jí)HMI進(jìn)行 生產(chǎn)過程監(jiān)控。

自動(dòng)靈敏度控制電路。

靈敏度時(shí)間控制指為避免近物雜波干擾，使接收機(jī)靈敏度在輻射脈沖瞬間下降，然后按一定規(guī)律增高的一種技術(shù)。

近日，應(yīng)用材料公司推出具有業(yè)界最高生產(chǎn)力的DUV（深紫外）亮場(chǎng)硅片檢測(cè)工具UVision?3系統(tǒng)，它能滿足45納米前端制程和浸沒式光刻對(duì)于關(guān)鍵缺陷檢測(cè)靈敏度的要求。這個(gè)新一代的系統(tǒng)為應(yīng)用材料公司突破性的UVision技術(shù)帶來了重要的進(jìn)步，它將掃描硅片的激光束數(shù)量提升至3倍，使其生產(chǎn)速度比任何競(jìng)爭(zhēng)對(duì)手的系統(tǒng)快40%。兩個(gè)新的成像模式將靈敏度擴(kuò)展至20納米，全新靈活的自動(dòng)缺陷分類引擎能夠迅速標(biāo)定出有害缺陷從而達(dá)到更快的成品率學(xué)習(xí)進(jìn)程。2100433B

聲壓靈敏度又稱聲壓響應(yīng)。接收換能器輸出端的開路電壓與換能器接收面上實(shí)有的聲壓的比值。單位為V/Pa。由于聲波的散射作用，實(shí)際作用于接收換能器膜片上的聲壓要大于換能器放入該點(diǎn)之前的平面波自由場(chǎng)的聲壓。而對(duì)同一換能器來說，它的開路輸出電壓是不會(huì)變的，因此其自由場(chǎng)靈敏度大于聲壓靈敏度，即接收換能器自由場(chǎng)靈敏度等于聲壓靈敏度加上散射引起的增量。如果已知聲壓響應(yīng)，根據(jù)壓力增量校正曲線就可求得自由場(chǎng)靈敏度。低頻率時(shí)，當(dāng)接收換能器放入聲場(chǎng)中，由于其尺度遠(yuǎn)小于聲波的波長(zhǎng)，它對(duì)聲場(chǎng)的干擾可以忽略不計(jì)，這時(shí)它的自由場(chǎng)靈敏度趨近于聲壓靈敏度。由散射引起的壓力增量與入射角有關(guān)。為計(jì)算方便，聲壓靈敏度也可用分貝表示?；鶞?zhǔn)量同自由場(chǎng)靈敏度級(jí)中所用的值。傳聲器的聲壓靈敏度標(biāo)準(zhǔn)采用耦合腔互易法。

測(cè)向靈敏度是指按規(guī)定的測(cè)向誤差完成測(cè)向時(shí)，測(cè)向裝備所需的最小被測(cè)信號(hào)電平。測(cè)向靈敏度與工作頻率關(guān)系極大，因此對(duì)不同的子頻段應(yīng)分別給出不同的靈敏度指標(biāo)。2100433B