復(fù)合型蒸發(fā)系統(tǒng)技術(shù)指標(biāo)

極限真空度≤1x10-5 Pa ;6個(gè)電子束蒸發(fā)工位，2個(gè)舟型熱蒸發(fā)工位；襯底采用紅外加熱，最高溫度≥150C；支持樣品尺寸：最大支持6英寸晶圓，可一次裝載5片6英寸樣品； 6英寸基片片內(nèi)和同批次片間膜厚均勻性優(yōu)于±5%。

具備電子束蒸發(fā)和電阻加熱熱蒸發(fā)兩種蒸發(fā)模式，具有原位離子束清洗功能、襯底加熱等功能，用于金屬（Ti、Au、Ag、Al、Mo）和非金屬（SiO）薄膜生長。 2100433B

腔室本底真空優(yōu)于5x10-8torr；4 個(gè)7cc的蒸發(fā)坩堝；2個(gè)熱蒸發(fā)電極。

蒸發(fā)冷卻全空氣蒸發(fā)冷卻空調(diào)系統(tǒng)

（1）一級蒸發(fā)冷卻系統(tǒng)

我國有一些地區(qū)夏季空調(diào)室外計(jì)算干、濕球溫度不高，用直接蒸發(fā)對室外空氣進(jìn)行冷卻，冷卻后的狀態(tài)可以達(dá)到一般舒適性空調(diào)的送風(fēng)要求。

（2）兩級蒸發(fā)冷卻系統(tǒng)

室外空氣先經(jīng)間接冷卻處理后在進(jìn)行直接蒸發(fā)冷卻，以獲得溫度和含濕量均低的送風(fēng)狀態(tài)。

（3）三級蒸發(fā)冷卻系統(tǒng)

第一級間接蒸發(fā)冷卻——室外空氣用冷卻塔的冷水通過空氣冷卻器來冷卻。第二級為間接蒸發(fā)冷卻。第三級為直接蒸發(fā)冷卻。

蒸發(fā)冷卻空氣-水系統(tǒng)中蒸發(fā)冷卻的應(yīng)用

（1）冷卻新風(fēng)

（2）制取空調(diào)冷水

對燃油蒸發(fā)控制系統(tǒng)的故障、一般不能自行診斷，只能采用就車檢測和單件檢測方法來查找 。

燃油蒸發(fā)控制就車檢測

就車檢測可按下述順序進(jìn)行：

（1）將發(fā)動機(jī)預(yù)熱至正常工作溫度，并使之怠速運(yùn)轉(zhuǎn)。

（2）拔下蒸氣回收罐上的真空軟管 ，檢查軟管內(nèi)有無真空吸力。 若燃油蒸發(fā)控制系統(tǒng)工作正常，在發(fā)動機(jī)怠速運(yùn)轉(zhuǎn)中電磁閥應(yīng)關(guān)閉，真空軟管內(nèi)無真空吸力。 如果此時(shí)真空軟管內(nèi)有真空吸力，則用萬用表 擋檢查電磁閥線束連接器端子上是否有電壓。若電磁閥線束連接器端子上有電壓，說明微機(jī)有故障。若無電壓，則說明電磁閥有故障卡死在開啟位置。

（3）踩下加速踏板，當(dāng)發(fā)動機(jī)轉(zhuǎn)速大于3000r/min 時(shí),檢查上述真空軟管內(nèi)有無真空吸力. 若真空軟管內(nèi)有 真空吸力,則說明該系統(tǒng)工作正常;若真空軟管內(nèi)無真空吸力,則用萬用表 Ω擋檢查電磁閥線束連接器端子上是否有電壓。若電壓正常，說明電磁閥有故障；若電壓異常，則說明微機(jī)或控制線路有故障。

燃油蒸發(fā)控制電磁閥的單件檢測

（1）檢查電磁閥電磁線圈的電阻值. 拔下電磁閥線束連接器，用萬用表 Ω 擋測量電磁閥電磁線圈的電阻

值。 電阻值應(yīng)符合規(guī)定，否則應(yīng)更換電磁閥。

（2）檢查電磁閥的工作. 拆下電磁閥，首先向電磁閥內(nèi)吹氣，電磁閥應(yīng)不通氣&然后將蓄電池電壓加到電磁

閥連接器的兩端子上，并同時(shí)向電磁閥內(nèi)吹氣，此時(shí)電磁圈子應(yīng)通氣。 如電磁閥的狀態(tài)與上述情況不符，則電磁閥有故障，應(yīng)更換。