中文名 | 半導(dǎo)體材料表面超精細(xì)拋光新技術(shù)研究 | 項(xiàng)目類別 | 面上項(xiàng)目 |
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項(xiàng)目負(fù)責(zé)人 | 孫建軍 | 依托單位 | 廈門(mén)大學(xué) |
擬利用約束刻蝕劑層(CELT)的原理,研究出對(duì)半導(dǎo)體材料表面進(jìn)行超精細(xì)拋光的新方法和新ひ"sup--normal" data-sup="1" data-ctrmap=":1,"> [1]
批準(zhǔn)號(hào) |
60076002 |
項(xiàng)目名稱 |
半導(dǎo)體材料表面超精細(xì)拋光新技術(shù)研究 |
項(xiàng)目類別 |
面上項(xiàng)目 |
申請(qǐng)代碼 |
F0401 |
項(xiàng)目負(fù)責(zé)人 |
孫建軍 |
負(fù)責(zé)人職稱 |
教授 |
依托單位 |
廈門(mén)大學(xué) |
研究期限 |
2001-01-01 至 2003-12-31 |
支持經(jīng)費(fèi) |
17(萬(wàn)元) |
常用的半導(dǎo)體材料分為元素半導(dǎo)體和化合物半導(dǎo)體。元素半導(dǎo)體是由單一元素制成的半導(dǎo)體材料。主要有硅、鍺、硒等,以硅、鍺應(yīng)用最廣?;衔锇雽?dǎo)體分為二元系、三元系、多元系和有機(jī)化合物半導(dǎo)體。二元系化合物半導(dǎo)體...
半導(dǎo)體材料的特性:半導(dǎo)體材料是室溫下導(dǎo)電性介于導(dǎo)電材料和絕緣材料之間的一類功能材料??侩娮雍涂昭▋煞N載流子實(shí)現(xiàn)導(dǎo)電,室溫時(shí)電阻率一般在10-5~107歐·米之間。通常電阻率隨溫度升高而增大;若摻入活性...
半導(dǎo)體材料就是所謂的單晶硅。單晶硅就是晶體類型唯一的硅晶體。我們平時(shí)遇到的物體比如鐵塊,看上去方方正正的,但是微觀上它是多種晶體類型混在一起的。生活中的晶體一般都是多晶型的。而制作半導(dǎo)體器件用的硅應(yīng)為...
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頁(yè)數(shù): 10頁(yè)
評(píng)分: 4.4
第 30 卷第 3 期 硅 酸 鹽 學(xué) 報(bào) Vol. 30 , No. 3 2 0 0 2 年 6 月 JOURNAL OF THE CHINESE CERAMIC SOCIETY J une , 2 00 2 綜合評(píng)述 寬帶隙半導(dǎo)體材料 SiC研究進(jìn)展及其應(yīng)用 王玉霞,何海平,湯洪高 (中國(guó)科學(xué)技術(shù)大學(xué)材料科學(xué)與工程系 , 合肥 230026 ) 摘 要 :SiC 是第 3代寬帶隙半導(dǎo)體的核心材料之一 , 具有極為優(yōu)良的物理化學(xué)性能 , 應(yīng)用前景十分廣闊 . 本文綜合介紹 SiC的基本特性 , 材 料的生長(zhǎng)技術(shù) (包括體單晶生長(zhǎng)和薄膜外延生長(zhǎng)技術(shù) ) , SiC基器件的研發(fā)現(xiàn)狀 , 應(yīng)用領(lǐng)域及發(fā)展前景 . 同時(shí)還介紹了作者用脈沖激光淀積法 在 Si襯底上制備出單晶 4H - SiC薄膜的研究結(jié)果 . 關(guān)鍵詞 : 碳化硅 ; 體單晶生長(zhǎng) ; 薄膜 ; 器件 中圖分類號(hào) : TN
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頁(yè)數(shù): 51頁(yè)
評(píng)分: 4.7
半導(dǎo)體材料7半導(dǎo)體照明工程材料
表面拋光是利用機(jī)械、化學(xué)或電化學(xué)作用,在拋光機(jī)或砂帶磨床進(jìn)行的光整合加工方法。
加工時(shí),拋光膏涂在高速旋轉(zhuǎn)的軟彈性拋光輪或砂帶上,利用劇烈摩擦,產(chǎn)生高溫,使加工面上形成極薄溶流層,即可填平加工面上的微觀凹凸不平,獲得光亮的鏡面。表面拋光適于鍍層表面修飾。
利用機(jī)械、化學(xué)或電化學(xué)的作用,使工件表面粗糙度降低,以獲得光亮、平整表面的加工方法。
機(jī)械拋光是利用拋光輪與拋光膏等精細(xì)磨料,對(duì)管件外表面進(jìn)行輕微切削和研磨,除去管件表面的細(xì)微不平,以達(dá)到整平表面、提高光潔度的目的。拋光并不切削金屬,只是拋去表面氧化膜。
(1)把拋光輪的圓周速度調(diào)節(jié)到20m/s~30m/s(形狀簡(jiǎn)單,表面較硬的轉(zhuǎn)速可大些)。
(2)根據(jù)被拋管件的材質(zhì),選用合適的拋光膏。拋光膏由粘合劑與磨料組成,拋光時(shí)與管件磨擦所產(chǎn)生的熱量,使拋光膏的粘合劑熔化,起到拋光作用。
(3)把管件壓向拋光輪適當(dāng)部位,其用力大小、拋光時(shí)間長(zhǎng)短、手的動(dòng)作,全憑拋光人員的實(shí)踐經(jīng)驗(yàn)。
拋光用于鍍前表面預(yù)處理,也用于鍍后精加工,后者拋光耗損占鍍層質(zhì)量的5%~20%。
(1)拋光輪的種類見(jiàn)圖5。
(2)拋光膏的組成及應(yīng)用范圍見(jiàn)圖6。
加工時(shí),拋光膏涂在高速旋轉(zhuǎn)的軟彈性拋光輪或砂帶上,利用劇烈摩擦,產(chǎn)生高溫,使加工面上形成極薄溶流層,即可填平加工面上的微觀凹凸不平,獲得光亮的鏡面。表面拋光適于鍍層表面修飾。
利用機(jī)械、化學(xué)或電化學(xué)的作用,使工件表面粗糙度降低,以獲得光亮、平整表面的加工方法。