中文名 | 拋光墊 | 外文名 | Polishing pad, Polishing cloth |
---|---|---|---|
按是否有磨料 | 分為有磨料拋光墊和無磨料拋光墊 | 按表面結(jié)構(gòu) | 平面型、網(wǎng)格型和螺旋線型 |
①把拋光液有效均勻地輸送到拋光墊的不同區(qū)域;
②將拋光后便化學(xué)反應(yīng)充分進行;的反應(yīng)物、碎屑等順利排出,達到去除效果;
③維持拋光墊表面的拋光液薄膜, 以便化學(xué)反應(yīng)充分進行;
④保持拋光過程的平穩(wěn)、表面不變形, 以便獲得較好的晶片表面形貌;
①硬度-拋光墊的硬度決定保持面形精度的能力;
②壓縮比-壓縮比反應(yīng)拋光墊的抗變形能力;
③涵養(yǎng)量-拋光墊的涵養(yǎng)量是單位體積的拋光墊存儲拋光液的質(zhì)量;
④粗糙度-表面粗糙度是拋光墊表面的凸凹不平程度,;
⑤密度-密度是拋光墊材料的致密程度;
按是否含有磨料可以分為有磨料拋光墊和無磨料拋光墊; 按材質(zhì)的不同可以分為聚氨酯拋光墊、無紡布拋光墊和復(fù)合型拋光墊; 按表面結(jié)構(gòu)的不同大致可分為平面型、網(wǎng)格型和螺旋線型。
根據(jù)我所了解的大理石拋光墊的價格如下: 青島長樂昊宇石業(yè)有限公司的大理石拋光墊價格是55元 羅田地皇石材有限公司的大理石拋光墊價格是60元 永定縣洪山盛鑫石板材廠的大理石拋光墊價格是50元 以上價格源...
拋光蠟 打蠟 拋光 是什么意思?是拋光的時候要用到拋光蠟?還是打蠟后要拋光?
拋光蠟是蠟的一種,是用在拋光過程中的蠟,核心作用是研磨;打蠟是一種美容項目,把車蠟作用在車漆表面,起到保護車漆的作用,有一定的光潔度和光滑度;拋光是工藝的一種,是美容項目中不可或缺的環(huán)節(jié),作用是去劃痕...
你這么問我也沒法達下面就是總之每個配方的研磨劑含量不同。買的時候問清楚,一般只要跟售貨員清楚車漆狀況就好選擇了。 sonax帶有拋光功能的蠟分超級(黑色瓶標(biāo)乳黃蠟液);特級(寶石藍色瓶標(biāo)乳白蠟液);和...
格式:pdf
大?。?span id="3mpjvge" class="single-tag-height">1.4MB
頁數(shù): 6頁
評分: 4.6
采用失重法與鉛筆硬度計分析了拋光墊的組分對其溶脹率及干濕態(tài)硬度的影響,比較了固結(jié)磨料方法與游離磨料方法拋光后硅片的表面粗糙度。結(jié)果表明:拋光墊基體的溶脹率隨基體中聚乙二醇雙丙烯酸酯(PEGDA)或乙氧基化三羥基丙烷三丙酸酯(EO15-TMAPTA)含量的增加而提高;基體的干態(tài)硬度隨PEGDA含量的增加先有所增大,而后減小,隨EO15-TMAPTA含量的增加而增大;濕態(tài)下鉛筆硬度隨PEGDA或EO15-TMAPTA含量的增加而減小;光引發(fā)劑量的增加,有利于增大基體的干濕態(tài)硬度;固結(jié)磨料拋光硅片的去除速率是游離磨料加工的2~3倍,而前者拋光硅片后的表面粗糙度Ra為12.2nm,大于后者的4.32nm。
格式:pdf
大?。?span id="ee71xf2" class="single-tag-height">1.4MB
頁數(shù): 6頁
評分: 4.6
為了解決在化學(xué)機械拋光過程中拋光接觸區(qū)域內(nèi)拋光液的分布均勻性問題,基于生物學(xué)的葉序理論,設(shè)計葵花籽粒結(jié)構(gòu)的仿生拋光墊,建立化學(xué)機械拋光拋光液流場的運動方程和邊界條件,利用流體力學(xué)軟件(Fluent)對拋光液的流動狀態(tài)進行仿真,并獲得葉序參數(shù)對拋光液流動狀態(tài)的影響規(guī)律。結(jié)果表明:拋光液在基于葵花籽粒的仿生拋光墊的流動是均勻的,拋光液沿著逆時針和順時針葉列斜線溝槽流動,有利于流體向四周發(fā)散。
一種用于調(diào)節(jié)制作半導(dǎo)體晶片的CMP裝置的拋光墊的裝置,該裝置包括構(gòu)造成至少部分地在一拋光墊之上延伸的一控制臂。該裝置還包括連接至控制臂的至少一個圓柱形調(diào)節(jié)件,該控制臂構(gòu)造成將所述至少一個圓柱形調(diào)節(jié)件施加至拋光墊。
《林學(xué)名詞》第二版。
表面經(jīng)拋光、光潔度較高的不銹鋼板。