中文名 | 手動探針臺 | 外文名 | PROBE STATION |
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1.什么是探針臺
探針臺是一種輔助執(zhí)行機構,測試人員把需要量測的器件放到探針臺載物臺(chuck)上,在顯微鏡配合下,X-Y移動器件,找到需要探測的位置。接下來測試人員通過旋轉探針座上的X-Y-Z的三向旋鈕,控制前部探針(射頻或直流探針),精準扎到被測點,從而使其訊號線與外部測試機導通,通過測試機測試人員可以得到所需要的電性能參數(shù)。
2探針臺應用
手動探針臺廣泛應用于,科研單位研發(fā)測試、院校教學操作、企業(yè)實驗室芯片失效分析等領域。一般使用于研發(fā)測試階段 ,批量不是很大的情況,大批量的重復測試推薦使用探卡。
主要功能:搭配外接測試測半導體參數(shù)測試儀、示波器、網分等測試源表,量測半導體器件IV CV脈沖/動態(tài)IV等參數(shù)。
用途:以往如果需要測試電子元器件或系統(tǒng)的基本電性能(如電流、電壓、阻抗等)或工作狀態(tài),測試人員一般會采用表筆去點測。隨著電子技術的不斷發(fā)展,對于精密微小(納米級)的微電子器件(如IC、wafer、Chip、LCD Array、CMOS Camera Module、Pitch微小的Connector),表筆點到被測位置就顯得無能為力了。于是一種高精度探針座應運而生,利用高精度微探針將被測原件的內部訊號引導出來,便于其電性測試設備(不屬于本機器)對此測試、分析。
探針臺執(zhí)行機構由探針座和探針桿兩部分組成.在探針座有X-Y-Z三向調節(jié)旋鈕,控制固定在針座上的探針桿做三向移動,移動范圍12mm,移動精度可以達到0.7微米。這樣可以把探針很好的點到待測點上(說明探針是耗材,一般客戶自己準備),探針探測到的信號可以通過探針桿上的電纜傳輸?shù)脚c其連接的測試機上,從而得到電性能的參數(shù)。對于重復測試同種器件,多個點位的推薦使用探針臺安裝探卡進行測試。
3、工作環(huán)境
探針臺應放在堅固穩(wěn)定的臺面上,如地基有震動的情況,需要配置主動防震裝置,避免在高溫、潮濕、激烈震動、陽光直接照射和灰塵較多的環(huán)境下使用。使用最佳溫度范圍為5℃~40℃,最佳濕度是40%到85%,空氣中之濕度若低于30%以下,可靠濕度控制器予以控制,使維持50%~60%之范圍。使用時門窗盡可能關閉,使室內達到除濕效果。
使用電源:220V,50Hz
INGUN探針,測試針,用于測試PCBA的一種探針。表面鍍金,內部有平均壽命3萬~10萬次的高性能彈簧。目前國外比較有名的生產廠家有:ECT,INGUN, QA ,IDI、Semiprobe 探針的材...
測試探針,K-50-QG 無線路由器測試,是應用于電子測試中測試PCBA的一種測試連接電子元件。
將赴吳興登樂游原一絕(杜牧)
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4.2.2 帶壓可伸縮探針拆裝 可伸縮型探針在監(jiān)測點工藝參數(shù)同時滿足溫度< 70℃、壓力< 0.5MPa的條件時可不 借助帶壓拆裝裝置進行探針的拆裝。當監(jiān)測點工藝參數(shù)中存在溫度≥ 70℃或壓力≥ 0.5MPa的任一情況時, 均必需借助帶壓拆裝裝置進行探針的伸縮以保證作業(yè)安全。 探針 拆裝一般要兩人配合操作;可伸縮型探針包括低溫伸縮電感、電阻和電化學探針。 探針拆裝操作步驟 ⑴可伸縮型探針在監(jiān)測點工藝參數(shù)滿足溫度 >70℃、壓力 >0.5MPa的任一條件時就 必須借助帶壓拆裝裝置進行探針的拆裝;拆裝裝置如圖 圖 4-7 低溫低壓拆裝裝置分解圖 ⑵將已組裝好探針的密封填料函安裝到監(jiān)測點接出裝置的閥門上 ,見圖 4-8; 1 圖 4-8 可帶壓拆裝型探針安裝示意圖 ⑶把拆裝裝置前端滑塊內螺紋與探針尾部航空插頭外螺紋相連接, 再旋轉伸縮裝置 手柄使前端螺栓與填料函卡槽相連接,圖 4-9 和圖
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雙光子吸收是指在強光激發(fā)下,介質分子同時吸收兩個光子,從基態(tài)躍遷到兩倍光子能量的激發(fā)態(tài)的過程。熒光顯微成像是研究活體生物的重要工具,而最通常的細胞成像方法則是使用單光子激發(fā)熒光團的單光子顯微成像。近紅外光源激發(fā)的雙光子熒光探針克服了單光子熒光探針的光漂白與光致毒而更適于生物檢測與成像,為生命科學研究提供了更為銳利的工具。雙光子熒光探針的作用機理包括分子內電荷遷移(ICT)、熒光共振能量遷移(FRET)、光誘導電子遷移(PET)與基團轉換(GC)4種方式。該文綜述了雙光子陽離子探針(Mg2+,Ca2+,Pb2+,Hg2+,Ag+,Fe3+,Zn2+,Na+,Cr3+)、雙光子陰離子探針(F-)、pH探針、雙光子葡萄糖示蹤器、雙光子脂筏探針、雙光子巰基探針、雙光子半胱氨酸探針和雙光子生物標記探針,以及雙光子熒光探針在生物成像方面的應用,展望了雙光子熒光探針的發(fā)展趨勢與應用前景。
探針臺分類
探針臺從操作上來區(qū)分有:手動,半自動,全自動
從功能上來區(qū)分有:溫控探針臺,真空探針臺(超低溫探針臺),RF探針臺,LCD平板探針臺,霍爾效應探針臺,表面電阻率探針臺
經濟手動型
根據(jù)客戶需求定制
chuck尺寸:4"*4" 6"*6" 8"*8" 12"*12" (可選)
X-Y移動行程:4"*4" 6"*6" 8"*8" 12"*12"(可選)
chuck Z軸方向升降10mm(選項)方便探針與樣品快速分離
顯微鏡:金相顯微鏡、體式顯微鏡、單筒顯微鏡(可選)
顯微鏡移動方式:立柱環(huán)繞型、移動平臺型、龍門結構型(可選)
探針座:有0.7um、2um、10um精度可選,磁性吸附帶磁力開關
可搭配Probe card測試
適用領域:晶圓廠、研究所、高校等
半自動型
chuck尺寸800mm/600mm
X,Y電動移動行程200mm/150mm
chuck粗調升降9mm,微調升降16mm
可搭配MITUTOYO金相顯微鏡或者AEC實體顯微鏡
針座擺放個數(shù)6~8顆
顯微鏡X-Y-Z移動范圍2"x2"x2"
可搭配Probe card測試
適用領域:8寸/6寸Wafer、IC測試之產品
電動型
chuck尺寸1200mm,平坦度土1u(不銹鋼或鍍金)
X,Y電動移動行程300mm x 300mm
chuck粗調升降9mm,微調升降16mm,微調精度土1u
可搭配MITUTOYO晶像顯微鏡或者AEC實體顯微鏡
針座擺放個數(shù)8~12顆
顯微鏡X-Y-Z移動范圍2“x2”x2“
材質:花崗巖臺面 不銹鋼
可搭配Probe card測試
適用領域:12寸Wafer、IC測試之產品
LCD半自動探針臺
機械手臂取放片
電動、鍵入坐標尋位置
量測尺寸(mm):1800x1600、1300x1200、1200x1000
LCD手動探針臺
白熾燈或者LED整面背光
TFT元件特性、Driver IC量測分析
機臺尺寸(mm):800x600、500x400、300x300
PCB量測探針臺(TDR)
高頻測試探頭GSG / GS / SG
頻率10GHZ / 40GHZ / 50GHZ / 67GHZ
機臺尺寸同LCD 探針臺
太陽能產業(yè)探針臺(Solar Cell 量測系統(tǒng))
量測軟體:
I-V /C-V Curve, Isc, Voc,
Pmax, Imax, Vmax, RS, Fill Factor,
Power Convert Efficiency
采用KEITHLEY Source Meter
可加配任意品牌之太陽光模擬器
探針臺從操作上來區(qū)分有:手動,半自動,全自動
從功能上來區(qū)分有:溫控探針臺,真空探針臺(超低溫探針臺),RF探針臺,LCD平板探針臺,霍爾效應探針臺,表面電阻率探針臺
根據(jù)客戶需求定制
chuck尺寸:4"*4" 6"*6" 8"*8" 12"*12" (可選)
X-Y移動行程:4"*4" 6"*6" 8"*8" 12"*12"(可選)
chuck Z軸方向升降10mm(選項)方便探針與樣品快速分離
顯微鏡:金相顯微鏡、體式顯微鏡、單筒顯微鏡(可選)
顯微鏡移動方式:立柱環(huán)繞型、移動平臺型、龍門結構型(可選)
探針座:有0.7um、2um、10um精度可選,磁性吸附帶磁力開關
可搭配Probe card測試
適用領域:晶圓廠、研究所、高校等
chuck尺寸800mm/600mm
X,Y電動移動行程200mm/150mm
chuck粗調升降9mm,微調升降16mm
可搭配MITUTOYO金相顯微鏡或者AEC實體顯微鏡
針座擺放個數(shù)6~8顆
顯微鏡X-Y-Z移動范圍2"x2"x2"
可搭配Probe card測試
適用領域:8寸/6寸Wafer、IC測試之產品
chuck尺寸1200mm,平坦度土1u(不銹鋼或鍍金)
X,Y電動移動行程300mm x 300mm
chuck粗調升降9mm,微調升降16mm,微調精度土1u
可搭配MITUTOYO晶像顯微鏡或者AEC實體顯微鏡
針座擺放個數(shù)8~12顆
顯微鏡X-Y-Z移動范圍2"x2"x2"
材質:花崗巖臺面+不銹鋼
可搭配Probe card測試
適用領域:12寸Wafer、IC測試之產品
機械手臂取放片
電動、鍵入坐標尋位置
量測尺寸(mm):1800x1600、1300x1200、1200x1000
白熾燈或者LED整面背光
TFT元件特性、Driver IC量測分析
機臺尺寸(mm):800x600、500x400、300x300
高頻測試探頭GSG / GS / SG
頻率10GHZ / 40GHZ / 50GHZ / 67GHZ
機臺尺寸同LCD 探針臺
量測軟體:
I-V /C-V Curve, Isc, Voc,
Pmax, Imax, Vmax, RS, Fill Factor,
Power Convert Efficiency
采用KEITHLEY Source Meter
可加配任意品牌之太陽光模擬器
主要應用于半導體行業(yè)?(IC和MEMS)以及光電行業(yè)的測試。主要使用在電子,機電,化工,材料特性研究所,及光電系所,納米機械,航空電子等,其目的在于保證質量及器件的可造性,并縮減研發(fā)時間和器件制造工藝的成本。
雙面探針臺從操作上來區(qū)分有:手動,半自動,全自動
雙面探針臺 從功能上來區(qū)分有:高溫探針臺,低溫探針臺,RF探針臺,LCD平板探針臺,霍爾效應探針臺,表面電阻率探針臺