過(guò)程測(cè)量

過(guò)程測(cè)量與“成品測(cè)量”相對(duì)。一種偏重于操作過(guò)程的技能測(cè)定。在學(xué)生的職業(yè)技能訓(xùn)練中常采用。注重學(xué)生操作的質(zhì)量及效率，如操作程序、工作態(tài)度及速度等，以提供豐富的診斷性資料，有助于改善教學(xué)。方法主要是觀察，即由教師觀察學(xué)生的操作過(guò)程。

中文名稱

過(guò)程測(cè)量

英文名稱

process measurement

定　　義

獲取信息，以確定過(guò)程各變量的值的測(cè)量。

應(yīng)用學(xué)科

機(jī)械工程（一級(jí)學(xué)科），工業(yè)自動(dòng)化儀表與系統(tǒng)（二級(jí)學(xué)科），工業(yè)自動(dòng)化儀表與系統(tǒng)一般名詞（三級(jí)學(xué)科）

橢偏儀測(cè)量橢偏參數(shù)

在橢偏測(cè)量過(guò)程中，有兩個(gè)橢偏參數(shù)非常關(guān)鍵。（標(biāo)準(zhǔn)）橢圓偏振測(cè)量四個(gè)史托克參數(shù)(Stokes parameters)中的兩個(gè)，通常以Δ及Φ來(lái)表示。TanΦ為反射后之振幅比，Δ為相位移（相差）。由于橢圓偏振系測(cè)量?jī)身?xiàng)之比值（或差異）而非其絕對(duì)數(shù)值，因此這技術(shù)所得的數(shù)據(jù)是相當(dāng)正確且可再現(xiàn)的，其對(duì)散射及擾動(dòng)等因素較不敏感，且不需要標(biāo)準(zhǔn)樣品或參考樣品。

橢偏儀測(cè)量數(shù)據(jù)分析和擬合

橢圓偏振為間接量測(cè)的技術(shù)，也就是說(shuō)，一般測(cè)得的Δ及Φ并不能直接轉(zhuǎn)換為樣品的光學(xué)常數(shù)，通常需要建構(gòu)模型來(lái)進(jìn)行分析。只有對(duì)于無(wú)限厚（約厘米等級(jí)）、各向同性且均勻的膜，才可能直接轉(zhuǎn)換得到其Δ及Φ之?dāng)?shù)值。在所有其他的情形下，則必需建構(gòu)其層狀模型，并考慮所有各層之各別的光學(xué)常數(shù)如(折射率或介電常數(shù))及厚度，且依正確的層畳順序建立。再借由多次最小方差法最適化，變動(dòng)未知的光學(xué)常數(shù)及(或)厚度參數(shù)，以之代入菲涅耳方程計(jì)算求得其對(duì)應(yīng)Δ及Φ數(shù)值。最后，所得最接近實(shí)驗(yàn)數(shù)據(jù)之Δ及Φ數(shù)值，其參數(shù)來(lái)源的光學(xué)常數(shù)及(或)厚度可視為此量測(cè)之最適化結(jié)果。

橢偏儀測(cè)量橢偏測(cè)量結(jié)果

橢偏測(cè)量可取得薄膜的介電性質(zhì)（復(fù)數(shù)折射率或介電常數(shù)）。它已被應(yīng)用在許多不同的領(lǐng)域，從基礎(chǔ)研究到工業(yè)應(yīng)用，如半導(dǎo)體物理研究、微電子學(xué)和生物學(xué)。橢圓偏振是一個(gè)很敏感的薄膜性質(zhì)測(cè)量技術(shù)，且具有非破壞性和非接觸之優(yōu)點(diǎn)。

分析自樣品反射之偏振光的改變，橢圓偏振技術(shù)可得到膜厚比探測(cè)光本身波長(zhǎng)更短的薄膜資訊，小至一個(gè)單原子層，甚至更小。橢圓儀可測(cè)得復(fù)數(shù)折射率或介電函數(shù)張量，可以此獲得基本的物理參數(shù)，并且這與各種樣品的性質(zhì)，包括形態(tài)、晶體質(zhì)量、化學(xué)成分或?qū)щ娦?，有所關(guān)聯(lián)。它常被用來(lái)鑒定單層或多層堆棧的薄膜厚度，可量測(cè)厚度由數(shù)埃（Angstrom）或數(shù)納米到幾微米皆有極佳的準(zhǔn)確性。

橢偏儀測(cè)量被測(cè)材料

半導(dǎo)體物理、通訊、數(shù)據(jù)存儲(chǔ)、光學(xué)鍍膜、平板顯示器、表界面科學(xué)研究、物理、化學(xué)、生物、醫(yī)藥、介電材料、有機(jī)高分子聚合物、金屬氧化物、金屬鈍化膜、各種液體薄膜、自組裝單分子層、多層膜物質(zhì)等等

第 1版由德國(guó)測(cè)量學(xué)家約旦(W.Jordan)編寫(xiě),于1872年以《實(shí)用測(cè)量手冊(cè)》為書(shū)名出版。第2版擴(kuò)充為2卷，改名為《約旦測(cè)量手冊(cè)》,于1877～1878年出版第3版補(bǔ)充修訂為3卷,于1888年出版。1904～1941年期間，德國(guó)埃格特(O.Eggert)重新修訂此書(shū)，先后修訂6次，全書(shū)擴(kuò)大至5卷,又名《約旦-埃格特測(cè)量手冊(cè)》。

1944年后，由德國(guó)克奈斯?fàn)?M.Kneissl)主編,約請(qǐng)世界名國(guó)測(cè)量學(xué)家分工撰寫(xiě)，對(duì)這部著作進(jìn)行全面修訂，于1956～1972年間陸續(xù)出版，為第10版，書(shū)名為《約旦-埃格特-克奈斯?fàn)枩y(cè)量手冊(cè)》。在此版中增添了大量的新內(nèi)容，全書(shū)共11卷15冊(cè)。其中主卷6卷7冊(cè)，第Ⅰ卷為數(shù)學(xué)基礎(chǔ)、平差計(jì)算和計(jì)算輔助用表；第Ⅱ卷為外業(yè)測(cè)量、土地測(cè)量和放樣工作；第Ⅲ卷為高程測(cè)量和視距測(cè)量；第Ⅳ卷（2冊(cè)）為數(shù)學(xué)大地測(cè)量學(xué)（陸地測(cè)量）;第Ⅴ卷為天文大地測(cè)量學(xué)和物理大地測(cè)量學(xué)(大地測(cè)量學(xué))；第Ⅵ卷為電磁波測(cè)距及其大地測(cè)量應(yīng)用補(bǔ)編5卷8冊(cè),第Ⅰa卷為地貌、地圖印制、地形圖和地圖投影；第Ⅱa卷為大地天文學(xué)；第Ⅲa卷（3冊(cè)）為攝影測(cè)量學(xué);第Ⅳa卷為地籍測(cè)量；Ⅳb卷為土地重新規(guī)劃(土地整理)；第Ⅴa卷為重力測(cè)量?jī)x器和方法。2100433B

工程測(cè)量修訂過(guò)程

該教材按照國(guó)家的《工程測(cè)量規(guī)范》（GB 50026-2007），根據(jù)土建類專業(yè)測(cè)量學(xué)課程教學(xué)的基本要求編寫(xiě)而成。

該教材在編寫(xiě)過(guò)程中，得到了蘭州城市建設(shè)學(xué)校（蘭州技師學(xué)院）的支持；蘭州城市建設(shè)學(xué)校校長(zhǎng)、高級(jí)講師趙虎林同志提出了修改意見(jiàn)；同時(shí)，編者參閱和借鑒了相關(guān)教材、專著及有關(guān)文獻(xiàn)資料。

工程測(cè)量出版工作

2011年3月1日，該教材由清華大學(xué)出版社出版。